护航“芯”征程！欧博全场景方案赋能杭州泓芯微二期高端智造

在半导体这个被誉为现代工业“皇冠”的领域中，环境的稳定性往往决定着芯片的“生死”。 微米级的尘埃、±0.1℃的温湿度波动，都可能成为压垮良品率的最后一根稻草。

近日，欧博空调凭借在半导体环境控制领域的深厚积淀，成功携手杭州泓芯微半导体有限公司，为其二期新建厂房项目提供全场景定制化环境解决方案：模块式风冷冷水（热泵）机组+组合式空调机组已蓄势待发，以“硬核”实力为高端半导体石英制品的智造保驾护航，共同书写国产半导体材料自主可控的新篇章。

破局之势：杭州泓芯微的“二期跨越”

2018年，浙江泓芯半导体在衢州成立，专注半导体设备用高端石英零部件。作为高新技术企业，它始终致力于成为全球材料制品的核心供应商。随着全球半导体与光伏需求的井喷，企业迎来了发展的关键节点。

2022年，杭州泓芯微半导体有限公司应运而生，定位生产高端半导体石英制品，专注于高端综合材料零部件的研发。然而，真正的质变来自于二期新建厂房项目。

这一项目不仅是产能的扩张，更是企业战略的升级。项目规划用地25.74亩，总投资高达4.415亿元，属于“C3985电子专用材料制造”这一关键行业。建成后，这里将成为集数字化智能制造、工业互联网与经验传承深度融合的高端生产基地，用于制造半导体核心制程中不可或缺的石英及硅制品。

图/半导体生产车间-来源于网络

对于半导体行业而言，石英部件不仅是耗材，更是晶圆载具、刻蚀设备中的核心构件。这意味着，杭州泓芯微的生产环境，必须对标芯片制造前道工序的严苛标准。 在这样的背景下，谁能为这座“超级工厂”提供稳定可靠的环境保障，谁就将成为这场国产化进程中的重要伙伴。

硬核守护：欧博全场景方案的“定制哲学”

面对杭州泓芯微二期项目对生产环境近乎苛刻的要求，欧博空调没有选择“一刀切”的通用设备，而是深入剖析半导体材料制造的独特痛点，拿出了“模块式风冷冷水（热泵）机组+组合式空调机组”的王牌组合。

图项目现场机组照片

作为此次方案的“动力心脏”——模块式风冷冷水（热泵）机组，展现了欧博在温控领域的深厚功底。

对于半导体石英制品的加工，无论是精密研磨还是高温处理，生产设备对冷却水的温度稳定性要求极高。欧博模块式风冷冷水机组采用全封闭涡旋式压缩机技术，制冷剂直接冷却电机，不仅免去了繁琐的维护，更确保了长时间运行的可靠性 。同时，机组采用R410A环保冷媒，契合了现代绿色工厂的环保理念 。最关键的是，其具备强大的智能模块化轮值及备用技术，多台模块间可互为备用，即便在极端工况下，也能确保冷热源供应的“零中断”，有效规避因环境波动导致的产品报废风险 。

而负责车间内部空气环境的“环境管家”——组合式空调机组，则为杭州泓芯微筑起了一道看不见的“洁净屏障”。

半导体生产环境的洁净度直接关系到产品性能。欧博ZKW系列组合式空调机组如同一个精密的“环境调控大师”，通过初效、中效、高效的多级过滤系统，有效滤除空气中微米级的尘埃颗粒，为车间提供超高洁净度的空气环境 。此外，它能精准控制车间内的温湿度，将波动控制在极窄范围内，确保石英部件在加工、清洗过程中不受结露或静电的干扰，从而保障最终产品的良品率 。

深耕“芯”土：不止于此的行业积淀

在半导体这个高度专业的赛道，欧博空调并非初来乍到。

事实上，从存储芯片到功率器件，从材料端到封装端，欧博的身影早已遍布中国“芯”版图。

在青岛致真存储项目中，欧博组合式空调机组成功应对了存储芯片制造对空气洁净度的极致要求，助力月产400万颗高端芯片的宏伟目标 。

在合肥汉芯光科技，欧博的满液式水冷螺杆冷水机组与组合式空调协同作战，为半导体先进光源的国产化破局提供了坚实的环境底座 。

而在芯科半导体，欧博通过四管制风冷热泵与组合式空调的搭配，不仅满足了万级洁净车间的严苛环境，更为客户带来了每年百万级的能耗节省，破解了半导体厂房“高能耗”的难题 。

这一系列的成功案例，印证了欧博空调在半导体领域的三大核心优势

➽ 高精度控制

先进PID控制算法与高精度传感器，实现温湿度波动极窄控制 。

➽ 极致洁净

多级过滤系统，为工艺环境提供稳定洁净保障 。

➽ 节能稳定

模块化设计与智能群控技术，保障连续生产，降低运营成本 。

从衢州到杭州，从石英材料到高端半导体零部件，杭州泓芯微的每一步跨越，都是中国半导体产业向上突围的缩影。而在这条充满挑战的“芯”征程上，欧博空调正以全场景定制化解决方案，担当起“环境守卫者”的重任。

22台模块机，9台组合柜，不仅仅是设备的堆叠，更是欧博对极致环境控制的承诺。 未来，欧博空调将继续以技术创新为驱动，助力更多半导体企业，在方寸晶圆之间，守护大国重器的“芯”脉动。